Interféromètre double faisceaux SP-D

L’interféromètre 2 faisceaux à miroir plan (série SP-D) développé par la société SIOS GmbH est un interféromètre homodyne (1 seule longueur d’onde) alimenté par un laser Hélium Néon stabilisé en fréquence. L’interféromètre SIOS à deux faisceaux permet de mesurer avec une extrême précision la distance séparant l’objet (miroir plan) de l’interféromètre ainsi qu’un des angles d’orientation du miroir (lacet ou tangage). Une fibre optique conduit la source vers l’interféromètre ce qui permet une mise en place « au plus près » du miroir à mesurer. La longueur d’onde du laser est corrigée en fonction des conditions environnementales (température, pression et humidité). Le déplacement du miroir est converti en deux signaux sinusoïdaux en quadrature directement proportionnels au déplacement. Par comptage de franges et interpolation il est ainsi possible d’obtenir des résolutions inférieures au nanomètre. Un logiciel spécifique assure le traitement, l’affichage et la sauvegarde des données.

Par leur compacité, leur stabilité et leur facilité de mise en place, les applications de ces systèmes sont multiples : mesure de déplacements et lacet / tangage sur platines de translation, dilatométrie, tests sur matériaux, étalonnage de bancs d’essais, d’instruments de métrologie…

Données techniques :

– Distance maximale mesurable : 2000mm

– Résolution : 5 pm

– Angle mesurable +/- 2 min d’arc

– Ecart des faiceaux : 2 à 10 mm

– Résolution angulaire : 0,01 sec d’arc (avec faisceaux séparés de 25mm)

– Longueur d’onde laser : 632.8nm

– Stabilité du laser / 24h : 2.10^-8

– Vitesse miroir max : 600 mm/s

– Interfaces : RS232 et USB

– Sorties analogiques ou numériques 32 bit