Ces éléments ont été développés à l’origine pour le contrôle de la qualité dans l’industrie optique et se composent d’un actionneur piézoélectrique associé à un micromètre.
L’utilisateur peut d’abord régler la position de l’actionneur, puis ajuster cette position à l’aide du piezostage. La résolution est comprise entre nm et sous-nm.
En raison de la construction très robuste de l’élément, des masses de charge élevées peuvent être levées.
Nom | Course | Compatibilité |
Mici 80 | 80µm | series152 de « Mitutoyo » |
Mici 140 | 140µm | series G de « Qioptiq Photonics » |
Mici 180 | 180µm | series M13 de « Newport » |
Mici 200 | 250µm | series 152 from « Mitutoyo » |