OptoScan

Le système de table de mesure X-Y OptoScan convient parfaitement aux mesures par balayage complet de sondes de mesure plates. Ses principales applications sont l’analyse de texture, la mesure de l’ondulation, la mesure de la brillance et la détection des défauts. Grâce à la combinaison d’un système de positionnement de haute précision et du capteur de lumière diffusée OS 500, les écarts de forme, même de l’ordre du nanomètre, sont détectés de manière fiable. La table est contrôlée confortablement par le logiciel OptoSurf. Pour visualiser les données détectées, le logiciel 3D fusionne instantanément les données collectées.

La taille maximale des sondes est de 110 x 100 mm avec la machine standard. Les axes de haute précision sont entraînés par un actionneur linéaire et offrent des vitesses de mesure allant jusqu’à 500 mm/seconde. Grâce à une insensibilité relativement élevée aux variations de la distance de mesure, même les petites imprécisions mécaniques n’affectent pas la précision du système. Des écarts de forme < 0,1 µm sont détectables sur des longueurs de mesure de 100 mm. La plage de mesure de la rugosité et de l’ondulation est de 1 nm.