Stations de nanopositionnement et de nanomesure suivant 3 axes équipées des technologies assurant la plus haute précision de déplacement.
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Station de mesure nanométrique NMM-1
Station de mesure topographique nanométrique
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Système de mesure et de positionnement interférométrique NPP-1
Système de mesure et de positionnement interférométrique laser planaire pour AFM
