Mipos 16- Positionneur objectif / shif de phase pour interférométrie

Les nanopositionneur et scanner MIPOS 16-158 est spécialement conçu pour une grande précision de positionnement du système optique avec une précision dans la plage inférieure au nanomètre. La haute résolution et le temps de réponse rapide des MIPOS 16-158 offrent de nouvelles possibilités, en particulier pour les interféromètres de lumière blanche.

Basé sur sa conception unique avec une ouverture de 104 mm et une hauteur de plateau de 42 mm, le MIPOS 16-158 offre des spécifications techniques correspondant aux exigences de l’interférométrie en lumière blanche.

Les actionneurs piézoélectriques peuvent considérablement améliorer la précision et la vitesse grâce à leur résolution pratiquement illimitée et à leur temps de réponse rapide. Le nanopositionneur MIPOS 16-158 peut atteindre une plage de focalisation allant jusqu’à 16 µm et une résolution en une étape inférieure à 0,1 nm, tout en fonctionnant dans une plage de tensions comprise entre – 20 et 130 V. Le MIPOS 16-158 est destiné à l’intégration en métrologie configurations et appareils. La conception de pré-charge mécanique interne permet aux MIPOS de fonctionner dans des environnements dynamiques élevées tout en réglant le temps est réduite à microsecondes.