OptoScan 600

OptoSurf a développé l’appareil OptoScan 600 spécialement pour mesurer les grands panneaux de semi-conducteurs. Les panneaux ne sont pas les seuls à pouvoir être mesurés – l’appareil peut également être utilisé pour les feuilles ou les pièces plates comme les outils polis ou les miroirs.

L’OptoScan 600, compatible avec les salles blanches, peut mesurer des surfaces jusqu’à 600 x 600 mm² maximum. Différents programmes de mesure sont disponibles : Balayages linéaires en orientation x et y, balayages partiels et complets, analyse de la rugosité (Aq ou – après création d’une corrélation – Ra, Rz), forme et ondulation. Le système peut être commandé avec un mandrin à vide supplémentaire. La vitesse d’avance maximale est de 600 mm/sec.