Les plateaux nouvellement conçus de la série nanoSXY associent la haute précision et la vitesse élevée d’un système de positionnement piézo-électrique à une conception d’actionnement spéciale pour les mouvements de déplacement longs.
Le design ultra plat de la scène et la facilité avec laquelle vous pouvez combiner la scène à un système de balayage xy rendent le système particulièrement utile pour une grande variété d’applications.
Basée sur la conception nanoX à actionnement bidirectionnel piezojena unique, cette série est conçue pour déplacer des masses de charge élevées avec une résolution de 0,25 nm. La conception du nanoX garantit également une excellente précision de guidage sans mouvement parasite et améliore le temps de stabilisation de manière active.
Les étages peuvent être équipés d’un système de retour haute résolution pour le contrôle en boucle fermée.
Les domaines d’application comprennent la métrologie à haute résolution, le balayage x et xy et le positionnement dynamique. Les platines sont également disponibles en versions cryogénique et sous vide.
Fiche technique à télécharger
Documentation nanosxy_400-837.pdf
Documentation nanosxy_120-838.pdf