La série de systèmes d’inclinaison de miroirs PSH 1-4 se compose de deux (par exemple PSH 1) ou de trois (par exemple PSH 1z) actionneurs piézoélectriques actifs. Ces actionneurs permettent d’incliner la plaque supérieure sur 3 axes maximum. En utilisant tous les actionneurs ensemble, la plaque supérieure permet un mouvement de piston pouvant atteindre 8 µm. Deux des axes sont perpendiculaires l’un à l’autre.
Leur construction est compensée en température afin que les changements de température ambiante n’affectent pas l’angle d’inclinaison. Les supports de miroir inclinables sont préchargés, ils sont donc parfaitement adaptés aux applications dynamiques. L’un de leurs principaux avantages est une fréquence de résonance élevée. C’est pourquoi ce système peut fournir un temps de réponse inférieur à msec.
Une version en boucle fermée avec contrôle de positionnement intégré est disponible pour une linéarité et une répétabilité de positionnement élevées. Les matériaux non magnétiques et les autres exigences relatives à la taille du client sont disponibles sur demande. La série de systèmes de positionnement de miroirs PSH 1-4 est conçue pour les miroirs et les composants optiques jusqu’à 50 mm de diamètre.
Pour le montage d’autres composants sur la plaque supérieure, des filetages et des trous pour broches sont disponibles. Une pince de montage spéciale peut être fournie pour ces systèmes afin d’éviter les forces de couple entre le boîtier et la plaque supérieure lors du montage du miroir ou d’autres composants.
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