Les systèmes de basculement de miroir piézo-électrique des plates-formes de balayage et de basculement de miroir piézoélectriques de la série PSH 4/1 sont conçus pour les tâches de positionnement ultra-rapides avec une précision nanométrique.
Ils sont particulièrement adaptés aux fonctions de guidage de faisceau, de numérisation, de contrôle des vibrations, d’alignement de faisceau et de suivi de faisceau. La plate-forme de basculement de miroir basée sur un actionneur piézo-électrique, PSH 4/1, a été développée en tant que système de balayage ultra rapide pour les fréquences kHz. Le système de taille miniature est basé sur deux actionneurs actifs. Il offre une inclinaison de ± 4 mrad. En raison de la précharge interne, le système affiche un temps de stabilisation très court et la fréquence de résonance est supérieure à 6,5 kHz une fois déchargée.
En raison de la conception spéciale de la charnière en flexion, le système est exempt de friction et de jeu mécanique. Le système PSH 4/1 est également disponible en version cryogénique et sous vide. Les composants optiques (miroirs, par exemple) peuvent être montés directement sur la plaque supérieure.
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