Shutter et fente piezo

Deux bords fendus sont entraînés par un seul actionneur piézoélectrique. Des charnières flexibles à semi-conducteurs avec un design en parallélogramme ont été utilisées pour construire les systèmes de fentes piézo-électriques afin d’assurer la synchronisation des bords de la fente par rapport à la ligne médiane.

Pour éviter les effets d’hystérésis, de fluage et de température, la fente piézoélectrique peut être équipée d’un système de mesure par jauge de contrainte. La précision de positionnement de la fente piézo-électrique avec un système de mesure intégré est généralement de 0,1% ou mieux. Les éléments fendus piézo sont également disponibles avec des bords fendus en acier. Presque tous les systèmes à fente piézo-électrique PZS sont disponibles dans des versions compatibles UHV et avec différents matériaux de corps et de bord de fente (INVAR).