SP 5000 DI/DS

Système de mesure interférométrique laser à quatre faisceaux de la différence de déplacement et d’angle :

Mesures très stables de la longueur différentielle et de l’angle de tangage
Parfait pour les platines XY
Distances entre les faisceaux 15 mm (mesure de la longueur) et 6 mm (mesure de l’angle)
Distance maximale mesurable : 5m
Sensibilité à la température extrêmement faible < 20 nm / K
Des versions OEM et sous vide de l’appareil sont disponibles.
L’interféromètre SP 5000 DI/DS combine les avantages d’un interféromètre différentiel avec ceux d’un interféromètre à faisceaux multiples. Pour la première fois, il associe une mesure de longueur très stable basée sur le principe différentiel à une mesure interférométrique de l’angle d’inclinaison à haute résolution. Il est ainsi possible de détecter non seulement les mouvements les plus infimes, mais aussi les plus petites inclinaisons sur de plus grandes surfaces, sans que les résultats ne soient soumis aux influences thermiques et physiques de l’environnement.
L’interféromètre est conçu pour être utilisé sur des miroirs plans et comme système de mesure intégré. Une application avec des réflecteurs est possible. L’interféromètre est réglé à l’aide de composants optiques ultra-stables intégrés dans le trajet du faisceau.

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