Station de mesure nanométrique NMM-1

La station nanométrique de mesure et de positionnement NMM (« Nano Measuring Machine ») est utilisée pour la mesure de la position d’objet dans les trois coordonnées de l’espace dans un volume de 25mm x 25mm x 5mm avec une résolution de 0.1 nm. Son dispositif de capteur unique fournit des mesures exemptes de toutes erreurs d’Abbe selon les trois coordonnées de l’espace. Les axes de mesures de trois interféromètres pour la mesure de distances selon les trois axes de coordonnées de l’espace s’intersectent en un même point qui est également le point de contact entre l’objet que l’on souhaite caractériser et la sonde que l’on utilise (pointe d’AFM par exemple).

L’objet est directement placé sur un coin de cube que l’on peut déplacer. La position du coin de cube est mesurée par trois interféromètres de la série SP500. Le coin de cube est déplacé par un système électrodynamique à 3 axes. Toutes déviations angulaires est mesurées et corrigées par deux capteurs.

Le laser ultra stabilisé est guidé de l’électronique de contrôle vers les trois interféromètres par fibre optique ce qui permet d’obtenir une Nano Measuring Machine thermiquement très stable.

Application :

• Positionnement, manipulation, traitement et mesure d’objet dans le domaine de la micromécanique, de la microélectronique, de l’optique, de la biologie moléculaire et de l’ingénierie de haute précision nécessitant une résolution nanométrique pour une gamme de déplacement importante.
• Microscopie à balayage dans un volume de 25mmX25mmX5mm
• Mesure de pièce de précision tels que les sondes pour les SNOM, ASNOM, AFM
• Différents capteurs de référence disponibles

Mode opératoire de la station nanométrique :

• Système de positionnement dynamique
• Système de mesure opérant soit en mode linéaire soit en mode pas à pas

Données techniques:

• Gamme de mesure et de positionnement : 25mmX25mmX5mm
• Résolution : 0.1nm
• Vitesse de déplacement selon X et Y : <2mm/s
• Vitesse de déplacement selon Z : <50mm/s