Vibromètre microscope

L’analyseur de vibrations nanométriques pour micro-structures (NA – nano Analyser) allie les performances d’un interféromètre de Michelson, d’un objectif microscopique, d’une caméra USB et d’une platine de déplacement motorisée.

L’échantillon à analyser est placé sur la platine de déplacement qui dispose d’une plage de positionnement de 50x50mm. L’objet vibrant peut être visualisé sur un écran par l’intermédiaire de la caméra. Des objectifs d’amplification x10 à x50 sont disponibles et réduisent la taille du spot lumineux à 2µm. La précision du Michelson, couplée à une carte d’échantillonnage haute fréquence permet de mesurer des vibrations de quelques nanomètres à plusieurs millimètres, de 0 à 2MHz et avec une résolution inférieure au nanomètre.

Un logiciel de reconstruction associé au scanning de la platine de positionnement permet d’obtenir une topographie dynamique de l’échantillon mesuré (sur la photo ci-dessous, mesure de l’extrémité d’un actuateur piezo-éléctrique).